De grondbeginselen en toepassingen van vacuümpompen
Jun 14, 2024
Laat een bericht achter
Invoering
Vacuümpompen zijn essentiële hulpmiddelen in een breed scala aan industriële en wetenschappelijke toepassingen. Ze spelen een cruciale rol bij het creëren en behouden van een gedeeltelijk of volledig vacuüm in besloten ruimtes, variërend van de micro-elektronica-industrie tot ruimteverkenning. Dit artikel is bedoeld om een uitgebreid overzicht te geven van vacuümpompen, met aandacht voor hun typen, werkingsprincipes, toepassingen, onderhoud en toekomstige trends.
Soorten vacuümpompen
Vacuümpompen worden grofweg in twee categorieën ingedeeld: verdringerpompen en momentumoverdrachtspompen.
1. Verdringerpompen
Verdringerpompen werken door gasmoleculen fysiek van het ene volume naar het andere te verplaatsen. Deze categorie omvat zuigerpompen, schottenpompen en membraanpompen.
Zuigerpompen maken gebruik van heen en weer bewegende zuigers om vacuüm te creëren door een gasvolume te comprimeren en uit te zetten. Ze zijn geschikt voor midden- tot hoogvacuümtoepassingen.
Draaischuifpompen bestaan uit een roterende schot in een stationaire behuizing. Terwijl de schoep draait, worden gasmoleculen gevangen en samengedrukt, waardoor een vacuüm ontstaat. Deze pompen worden veel gebruikt in industriële toepassingen.
Membraanpompen werken door een membraan te buigen om een volumeverandering te creëren. Ze worden vaak gebruikt in toepassingen die zuiverheid en weinig onderhoud vereisen.
2. Momentumoverdrachtpompen
Momentumoverdrachtspompen daarentegen gebruiken het momentum van gasmoleculen om een vacuüm te creëren. Deze omvatten turbinepompen, moleculaire sleeppompen en cryogene pompen.
Turbinepompen maken gebruik van een roterend turbineblad om gasmoleculen een impuls te geven, waardoor ze zich van de inlaat van de pomp verwijderen. Ze zijn geschikt voor hoogvacuümtoepassingen.
Moleculaire sleeppompen zijn afhankelijk van de momentumuitwisseling tussen gasmoleculen en een snel bewegend oppervlak om gas te evacueren. Deze pompen worden gebruikt in ultrahoogvacuümsystemen.
Cryogene pompen maken gebruik van de lage temperaturen van cryogene vloeistoffen om gasmoleculen te adsorberen en te condenseren, waardoor een vacuüm ontstaat. Ze worden vaak gebruikt in onderzoeks- en ontwikkelingstoepassingen.
Werkingsprincipes van vacuümpompen
De werkingsprincipes van vacuümpompen variëren afhankelijk van het type. Alle vacuümpompen hebben echter tot doel de druk in een afgesloten ruimte te verlagen door gasmoleculen te verwijderen.
Bij verdringerpompen verplaatst de mechanische werking van zuigers, schoepen of membranen de gasmoleculen fysiek van de inlaat naar de uitlaat. Dit proces gaat door totdat het gewenste vacuümniveau is bereikt.
Momentumoverdrachtspompen daarentegen vertrouwen op het geven van momentum aan gasmoleculen via verschillende mechanismen. Turbinepompen maken bijvoorbeeld gebruik van de rotatie van turbinebladen om gasmoleculen momentum te geven, waardoor ze van de inlaat wegbewegen. Moleculaire weerstandspompen werken door het momentum van een snel bewegend oppervlak over te brengen naar gasmoleculen, wat resulteert in hun evacuatie.
Toepassingen van vacuümpompen

Vacuümpompen vinden toepassingen in tal van industrieën en wetenschappelijke gebieden. Enkele van de meest voorkomende toepassingen zijn:
Micro-elektronica en halfgeleiderproductie: Vacuümpompen zijn essentieel bij de productie van microchips en halfgeleiders. Ze worden gebruikt om gassen uit kamers te evacueren tijdens de afzetting, etsen en andere processen.
Coating en oppervlaktebehandeling: Vacuümpompen worden gebruikt in coating- en oppervlaktebehandelingstoepassingen, zoals fysische dampafzetting (PVD) en chemische dampafzetting (CVD). Ze helpen bij het creëren van een schone en gecontroleerde omgeving voor het aanbrengen van dunne films op substraten.
Analytische instrumenten: Vacuümpompen worden vaak aangetroffen in analytische instrumenten zoals massaspectrometers, elektronenmicroscopen en röntgendiffractometers. Ze worden gebruikt om de monsterkamer te evacueren en de prestaties van het instrument te verbeteren.
Medische toepassingen: Vacuümpompen spelen een cruciale rol in medische toepassingen, waaronder kunstmatige beademing, wonddrainage en uitzuiging tijdens operaties.
Lucht- en ruimtevaartverkenning: Bij lucht- en ruimtevaartverkenning worden vacuümpompen gebruikt om de druk van ruimtevaartuigen op peil te houden en een vacuüm te creëren voor wetenschappelijke experimenten.
Onderhoud en probleemoplossing van vacuümpompen
Goed onderhoud en probleemoplossing zijn cruciaal voor het garanderen van optimale prestaties en een lange levensduur van vacuümpompen. Enkele veel voorkomende onderhoudspraktijken zijn:
Regelmatig controleren en vervangen van filters om vervuiling en verstopping te voorkomen.
Bewaken van het oliepeil en het periodiek verversen van de olie in olieafgedichte pompen.
Inspecteren en vervangen van versleten onderdelen, zoals afdichtingen, pakkingen en lagers.
Veelvoorkomende probleemoplossingsproblemen en hun oplossingen zijn onder meer:
Lage vacuümprestaties: Dit kan te wijten zijn aan verstopte filters, versleten afdichtingen of onvoldoende olie. Het reinigen of vervangen van deze componenten kan de prestaties van de pomp herstellen.
Hoge geluidsniveaus: Geluid kan wijzen op een mechanisch probleem, zoals versleten lagers of losse onderdelen. Het inspecteren en vervangen van deze componenten kan het geluidsniveau verminderen.
Olie lek:Olielekkage kan veroorzaakt worden door slijtage
Hieronder volgt een gedetailleerde inleiding tot het onderhoud van vacuümpompen:
Regelmatige schoonmaak:Het schoonhouden van de vacuümpomp is de sleutel tot een langere levensduur. Tijdens gebruik moeten het pomplichaam en de componenten regelmatig worden gereinigd om stof en bezinksel te verwijderen. Over het algemeen wordt aanbevolen om ongeveer een keer per maand schoon te maken en te onderhouden. Let bij het reinigen op het gebruik van een mild reinigingsmiddel en een zachte borstel, om het pomplichaam niet te beschadigen.
Onderhoud smering: Een goede smering kan de slijtage en wrijving van het pomplichaam verminderen en de efficiëntie van de pomp verbeteren. Vul het pomplichaam regelmatig met het benodigde smeermiddel volgens de instructies van het pomplichaam, waarbij u let op het type smeermiddel en de wijze van gebruik. Tegelijkertijd is het noodzakelijk om regelmatig te controleren of de smeerolie voldoende is en de smeerolie op tijd bij te vullen, maar pas op dat u niet te veel smeert, om niet tot hoge temperaturen te leiden en de levensduur van de pomp te verkorten.
Controleer de werking van de motor: de motor is een van de belangrijkste componenten van de vacuümpomp en het is erg belangrijk om de werking van de motor regelmatig te controleren. Let erop dat u controleert of de motor normaal werkt, of de temperatuur te hoog is en of er zich een storing voordoet, die op tijd moet worden afgehandeld. Bovendien is het noodzakelijk om de isolatieweerstandswaarde van de motor regelmatig te controleren om er zeker van te zijn dat de motor normaal werkt.
Controleer afdichtingen:Afdichtingen zijn gemakkelijk beschadigde onderdelen in vacuümpompen. Controleer regelmatig de status van de afdichting, zoals veroudering, vervorming of schade, en moet op tijd worden vervangen om de normale werking van het pomplichaam te garanderen. In principe dient u elke werkdag één keer de staat van de afdichting te controleren en dient u de afdichtingsring regelmatig te vervangen.

